Таблица 13. Основные этапы процесса изготовления интегральных схем

Содержание трудовой деятельности

Контроль кристаллов по внешнему виду (деятельность оператора-контролера) является основной формой оценки? качества продукции, на любом этапе легко приходящей в негодность. Каждый кристалл может оказаться дефектным вследствие поверхностных повреждений (сколы, царапины, трещины* и др.), загрязнений, технологического брака. Насчитывается несколько десятков основных типов дефектов, за каждым из которых лежит не учитываемое множество конкретных воплощений. Цель деятельности оператора-контролера состоит в отбраковке дефектных кристаллов. При этом решаются две основные задачи: установление факта наличия дефекта и определение возможности использования кристалла в зависимости от характера и степени его выраженности.